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| 研究生： |
巫秉融 Ping-Jung Wu |
|---|---|
| 論文名稱： |
氫等離子體吸附成核、聚核、成膜分離矽奈米薄膜現象之研究 Study of Nucleation, Mergence, Growth of Gas Film by Hydrogen Plasma to Split Nano-Scale Layer from Substrate |
| 指導教授： |
李天錫
Tien-His Lee |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 畢業學年度： | 96 |
| 語文別： | 英文 |
| 論文頁數： | 72 |
| 相關次數： | 點閱：11 下載：0 |
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