| 研究生: |
邱彥智 Yen-Chih Chiu |
|---|---|
| 論文名稱: |
柴氏法生長6~8吋矽單晶之高溫梯爐體與製程設計模擬 Effects of different furnace designs on the temperature field during Czochralski growth of 6~8 inch monocrystalline silicon crystals |
| 指導教授: |
陳志臣
Jyh-Chen Chen |
| 口試委員: | |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
工學院 - 能源工程研究所 Graduate Institute of Energy Engineering |
| 論文出版年: | 2018 |
| 畢業學年度: | 106 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 74 |
| 相關次數: | 點閱:15 下載:0 |
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