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研究生: 江姵儀
Pei-yi Chiang
論文名稱: 外加水平式磁場柴氏法生長單晶矽之熱流場及氧雜質傳輸數值分析
Numerical simulation of flow, thermal and oxygen distributions for a Czochralski silicon growth with in a transverse magnetic field
指導教授: 陳志臣
Jyh-Chen Chen
口試委員:
學位類別: 碩士
Master
系所名稱: 工學院 - 機械工程學系
Department of Mechanical Engineering
論文出版年: 2014
畢業學年度: 102
語文別: 中文
論文頁數: 89
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