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| 研究生： |
洪章凱 Chang-Kai Hung |
|---|---|
| 論文名稱： |
ICP-RIE乾蝕刻製程應用於AT-cut石英晶圓之研究 Research on dry etching process applied to AT-cut quartz wafer by ICP-RIE |
| 指導教授： |
董必正
Pi-Cheng Tung |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 論文出版年： | 2023 |
| 畢業學年度： | 111 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 81 |
| 相關次數： | 點閱：9 下載：0 |
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