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| 研究生： |
柯冠宇 Kuan-Yu Ko |
|---|---|
| 論文名稱： |
低溫電漿輔助原子層沉積法鍍製抗反射膜之低應力研究 Investigation of Low Stress in Anti-Reflective Coatings Fabricated by Low-Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition |
| 指導教授： |
郭倩丞
Chien-Cheng Kuo |
| 口試委員: | |
| 學位類別： |
碩士 Master |
| 系所名稱： |
理學院 - 光電科學與工程學系 Department of Optics and Photonics |
| 論文出版年： | 2024 |
| 畢業學年度： | 112 |
| 語文別： | 中文 |
| 論文頁數： | 92 |
| 相關次數： | 點閱：17 下載：0 |
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全文公開日期 2026/07/10全文公開日期 2026/07/10 (校外網路)