| 研究生: |
何炳興 Ping-Sing Ho |
|---|---|
| 論文名稱: |
結合微放電與超音波振動研磨的微孔精修加工 |
| 指導教授: |
顏炳華
Biing-Hwa Yan |
| 口試委員: | |
| 學位類別: |
碩士 Master |
| 系所名稱: |
工學院 - 機械工程學系 Department of Mechanical Engineering |
| 畢業學年度: | 93 |
| 語文別: | 中文 |
| 論文頁數: | 101 |
| 中文關鍵詞: | 微放電加工 、微超音波振動研磨 、微孔 、微電極 |
| 外文關鍵詞: | MEDM, MUVF, Microhole, Microtool |
| 相關次數: | 點閱:10 下載:0 |
| 分享至: |
| 查詢本校圖書館目錄 查詢臺灣博碩士論文知識加值系統 勘誤回報 |
在微細加工的技術中,微細放電加工法為有效製造孔徑小於100μm微細孔的有效方法之一,但微細放電加工在金屬板上製作微細孔時,會在孔壁表面形成再鑄層,其中有放電坑與微氣孔等造成孔壁表面粗度不佳的缺點,嚴重影響微細孔的品質。因此,本研究擬以高鎳合金為工件材料,利用本實驗室所建立起之微細放電加工系統為基礎,配合超音波振動設備,設計一套複合精修製程針對高鎳合金微細孔進行精度改善,以期得到高精度的微孔,符合精密工業的需求。
由實驗結果顯示,採用複合精修製程加工微孔時,微孔孔壁表面可獲得明顯的改善效果。在圓孔精修方面,圓形微孔精修製程可使微细圓孔孔壁表面粗糙度Rmax由1.345µm(Ra 0.162µm)改善到0.58µm(Ra 0.035µm)。而在異型微孔精修方面,微细異型孔孔壁表面粗糙度Rmax由0.957µm(Ra 0.11µm)改善到0.31µm(Ra 0.015µm)。
1. D. M. Allen,A. Lecheheb,Micro electro-doscharge machining of ink jet nozzles : optimum selection of material and machining parameters , Journal of Materials Processing Technology,58,pp53-66,1996.
2. T, Masuzawa,M. Fujino,K. Kobayashi and T.Suzuki,Wire Electro-Discharge Grinding for Micro-Machining,Annals of the CIRP,34,1,pp.431-434,1985.
3. W. Ehrfeld and H. Lehr,Deep X-Ray Lithography for the production of three-dimensional microstructures from metals,polymers and ceramics,Radiat .Phys.Chem Vol.45 No.3 pp349-365,1995.
4. K. Kagaya,Y. Oishi,K.Yada,Micro-electrodischarge machining using water as a working Fluid-I: Micro-hole Drilling,Precision Engineering,8,3,pp.156-162.,1986.
5. Seong.S.Choi,Jung,D.W.Kim,M.A.Yakshin,J.Y.Park,Y.Kuk,Frabrication and microelectron gun arrays using laser micromachining,Microelectronic Engineering,41/42,pp167-170,1998.
6. R.K Kupka,F. Bouamrance,Cremers,Smegtert,Smegtert,Mircofabrication : LIGA-X and applications,Applied Surface Science,164,pp97-110,2000.
7. T, Masuzawa,An Approach to Micromachining through Machine Tool Technology,Annals of the CIRP,34,1,pp.419-425,1985.
8. T. Masuzawa,M. Yamamoto and M. Fujino,A Micropunching System Using Wire-EDM,Proc. of Int‘l Symposium for Electromachining (ISEM-9),pp.86-89,1989.
9. Domoiniek Reynaerts,Paul-Henri’s Heeren,Hendrik Van Brussel,Microstructuring of silicon by elelctro - discharge machining(EDM) Part I : theory,Sensors and actuators,A60,pp212-218,1997.
10. 倉藤尚雄、鳳誠三郎著,鄒大鈞譯,“放電加工”,復漢出版社。
11. 楊錫杭、黃廷合編著,“微機械加工概論”,全華出版社。
12. 陳建良著,”結合微細放電與高頻抖動研磨之微孔加工研究”,國立中央大學碩士論文,民國92年.
13. 王阿成著,”結合微放電與微超音波振動研磨改善微細孔精度的研究”,國立中央大學博士論文,民國92年.